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      三種生長(cháng)SiC單晶用SiC粉體制備方法的優(yōu)缺點(diǎn)

      文章出處:粉體圈網(wǎng)責任編輯:作者:小吉人氣:-發(fā)表時(shí)間:2022-09-08 17:45:00【

      生長(cháng)SiC單晶用的SiC粉體純度要求很高,其中雜質(zhì)含量應至少低于0.001%。在眾多SiC粉合成方法中,氣相法通過(guò)控制氣源中的雜質(zhì)含量可以獲得純度較高的SiC粉體;液相法中只有溶膠-凝膠法可以合成純度滿(mǎn)足單晶生長(cháng)需要的SiC粉體;固相法中的改進(jìn)自蔓延高溫合成法是目前使用范圍最廣,合成工藝最成熟的SiC粉體的制備方法。


      目前合成單晶生長(cháng)用高純SiC的方法并不多,以CVD法和改進(jìn)的自蔓延合成法為主,其中氣相法合成的粉體多為納米級,生產(chǎn)效率低,無(wú)法滿(mǎn)足工業(yè)需求;同時(shí),固相法制備過(guò)程的眾多雜質(zhì)中,N元素的含量一直居高不下。后續應該在高純SiC粉體粒徑和晶型對晶體生長(cháng)的影響方面進(jìn)行深入研究,從而加強對高純SiC粉體形狀、粒度、粒徑分布等參數的有效控制,并且對如何減少高純SiC粉體中N元素的含量還需進(jìn)一步的研究。

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